Технологии нанообработки
Изложены основные методы наноизмерений, способы получения нанопорошков, поверхностных и объемных наноструктур. Представлены различные устройства нанопозиционирования и наноперемещения. Описываются методы и средства размерной нанообработки, обработки сканирующими зондами, нанолитографии, подходы к созданию молекулярных наномашин и других супрамолекулярных структур.
| Общие | |
| ISBN: | 978-5-94178-194-2 |
| Автор | Григорьев С.Н., Грибков А.А., Алешин С.В. |
| Вид издания | Учебное пособие (Гриф) |
| Переплет/Обложка | Пер. |
| Год издания | 2020, 4-е изд., стер. |
| Страниц | 320 |
| Формат | 60х84/16 |